來源：杭氧集團(tuán)

近日，青島杭氧電子氣純氮設(shè)備開車一次成功，順利產(chǎn)出產(chǎn)品，純度和產(chǎn)量均達(dá)到設(shè)計(jì)要求。

據(jù)悉，該設(shè)備配套青島杭氧電子氣大宗氣體項(xiàng)目，為青島芯恩集成電路有限公司提供電子氣級別氮?dú)猓兊O(shè)備產(chǎn)品含氧量要求0.1ppm以下，再經(jīng)過后處理加工，供應(yīng)業(yè)主。本套電子氣項(xiàng)目有“爬坡”的特點(diǎn)，用戶氮?dú)庑枨笾饾u增加，根據(jù)業(yè)主要求，純氮設(shè)備具有低負(fù)荷、大操作范圍的能力，并采用雙塔流程提升提取率，降低能耗，操作負(fù)荷范圍在38%~105%，目前設(shè)備運(yùn)行在40%左右。此外，針對電子氣項(xiàng)目保供要求，做了更多可靠性的配置，后備系統(tǒng)在產(chǎn)品管路波動時可自行補(bǔ)氣，如遇到純氮設(shè)備跳車，甚至控制系統(tǒng)故障，停水?dāng)嚯姡髠湎到y(tǒng)仍能平穩(wěn)供氣，確保下游工藝的安全。

隨著純氮設(shè)備出氮，青島杭氧電子氣項(xiàng)目二階段設(shè)備全面投入使用。