來源：中科富海

近日，中科富海旗下子公司中科富氦（中山）氣體開發有限公司（以下簡稱“中科富氦”）氣體純化裝置成功投產，產出純度高達6N的超純氪氣、氙氣產品。

氪氣、氙氣在空氣中的含量極少，加之其分離提取工藝要求較高等原因，稱為“黃金氣體”。6N級超純氪氣、氙氣在國內并不多見，其生產技術曾一度被國外企業壟斷。中科富氦采用先進的精餾結合純化工藝流程和設備配置；其主要通過進料排、精餾塔、純化器三套主要設備協同工作，使原料得以高效提純。此外，裝置還配備了膜壓機和真空泵等輔助設備，確保生產過程的穩定性和高效性。最終實現將氪氙原料氣體從5N純度精餾提純至6N純度甚至更高。

該套裝置設計產能為氪氣6000Nm³/a和氙氣600Nm³/a，可充分滿足臺積電等高端客戶需求。未來，中科富氦將持續深耕低溫精餾和純化工藝，瞄準7N純度標準不斷前進，持續提升產品品質和生產效率，以滿足日益增長的半導體行業需求。